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研究開発センター

研究開発センターでは、先端的な要素技術や応用技術を３ビジネスユニット（ポジショニング、アイケア、ファインテック）へタイムリーに提供するため、いくつかの研究領域（光応用分野、光システム分野、ナノオプト分野、画像応用分野等）を設けています。

・	三次元画像計測技術
・	画像認識技術

・	半導体プロセス検査装置関連技術
・	深紫外線光学システム技術